




實(shí)驗(yàn)室氣體的危險(xiǎn)性
1.有部分氣體具有毒、強(qiáng)腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會(huì)對(duì)工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;
2.多種氣體在同一個(gè)環(huán)境下使用,如果有兩種會(huì)發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時(shí)泄漏,就可能對(duì)工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;
3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對(duì)人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。
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電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)
由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險(xiǎn)的供應(yīng)系統(tǒng),因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)的維護(hù)需要專業(yè)、有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。
(1)特氣柜又分為全自動(dòng)特氣柜與半自動(dòng)特氣柜,每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。全自動(dòng)氣柜維護(hù)自動(dòng)化程度較高,并且安全可靠。3、閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門,設(shè)置換瓶吹掃,程序自動(dòng)進(jìn)行抽氣,置換等動(dòng)作,根據(jù)氣體性質(zhì)的不同,一般至少吹掃60次以上,負(fù)壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。
(2)管路的維護(hù),由于不同的氣體性質(zhì)不一樣,對(duì)管路維護(hù)的方法也不相同,對(duì)腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮?dú)獯祾撸∟2purge),一般至少反復(fù)30次,對(duì)于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復(fù)的抽真空,抽完后關(guān)閉閥門,1小時(shí)后會(huì)出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會(huì)造成管道泄漏的誤導(dǎo),遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。
以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測(cè)試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負(fù)壓保壓為-12PSI,保壓時(shí)間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負(fù)波動(dòng)。
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特氣系統(tǒng)知識(shí)分享:標(biāo)準(zhǔn)氣體
所謂標(biāo)準(zhǔn)氣體就是用來校正測(cè)量?jī)x器、評(píng)價(jià)測(cè)定方法、給出未知樣品氣標(biāo)準(zhǔn)值的氣體。它分為調(diào)整零位用標(biāo)準(zhǔn)氣體(零位氣體)、監(jiān)測(cè)環(huán)境用標(biāo)準(zhǔn)氣、工業(yè)分析用標(biāo)準(zhǔn)氣體、醫(yī)1療儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣體、可燃性氣體泄漏用標(biāo)準(zhǔn)氣體、燃燒器尾氣用標(biāo)準(zhǔn)氣體六大類。不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮?dú)?、二氧化碳等)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。由于使用了標(biāo)準(zhǔn)氣,所以即使在不同場(chǎng)所測(cè)定,也具有相同測(cè)定值。
標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)用范圍很廣,在化工、石油冶金、機(jī)械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領(lǐng)域?qū)?biāo)準(zhǔn)氣體的需求量相對(duì)較大。
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